超凡国际

超凡国际---超凡国际——真空干燥•智能工厂整体解决方案提供商
English
0755-27745666
超凡国际
公司介绍
产品中心
研究院
服务支持
超凡国际 中心

真空泵在半导体制造业中的运用

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。超凡国际 把它们分成两类:初级泵和高级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高级真空泵抽气(见图1).高级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高级和超高级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。





超凡国际
公司介绍
产品中心
研究院
服务支持
超凡国际 中心
24小时热线

深圳 13636388018

上海 13636388018

天津 13821156318

赣州 13821156318

扫描二维码
获取最新动态

隐私政策 服务条款 人才招聘 联系超凡国际
相关公司
  超凡国际官网-追求健康,你我一起成长 Copyright © 2014
var _hmt = _hmt || []; (function() { var hm = document.createElement("script"); hm.src = "https://hm.baidu.com/hm.js?25a8b6ddd6dc7b9a90aeb1f51e218aa6"; var s = document.getElementsByTagName("script")[0]; s.parentNode.insertBefore(hm, s); })(); 超凡国际-科技赋能场景,让娱乐更有趣。 超凡国际-梦想照进现实,努力成就未来! 超凡国际-科技赋能场景,让娱乐更有趣。 超凡国际-梦想照进现实,努力成就未来! 巅峰国际-科技赋能场景,让娱乐更有趣。