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真空泵表面清洁的重要性

在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源,这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右,而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层的微小程度。当装配真空系统时,必须用液体对其表面进行化学清洗,并要求清洗液在蒸发干燥后,其残留物完全可忽略不计。此外,用于最后清洗的液体的蒸气压必须足够高,以便在不太长的时间内可以挥发、干燥。

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